Advanced Energy ?的 OR4000E多通道光纖測溫儀（OFT）能夠自動探測測量材料發(fā)射率，可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各種半導體工藝過程。OR4000E型具有類似OR4000T的高速性能，并且兼具實時輻射率補償?shù)膬?yōu)點。其采用模塊化設(shè)計，可快速量身定制，滿足獨特的工藝應(yīng)用要求。